Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния
Патент 1239983
Авторы
- Аркадьев А.А.
- Данов П.А,
- Еременко А.И.
- Кох А.А.
- Крикавцов В.И.
- Малороссиянов В.С.
- Назаров Ю.Н.
- Старобина Т.М.
- Тищенко И.А.
- Ходяков В.А.
- Чапыгин А.М.
Классы МПК
Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния
Реферат
Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния путем гидрохлорирования кремния в кипящем слое, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и повышения степени конверсии хлористого водорода, процесс ведут при линейной скорости 0,18 - 0,28 м/с, высоте кипящего слоя 3,5 - 4,5 м и среднем эквивалентном диаметре частиц кремния 400 - 800 мкм.