ТОЛСТОПЯТОВ ЕВГЕНИЙ МАКСИМОВИЧ

  Изобретение относится к области электроизмерений. Может быть использовано при определении диэлектрических характеристик на переменном токе пленок и покрытий.. Целью изобретения является повьшение точности определения tg5 материала покрытий на проводящей подложке, обусловленного электрическими потерями в обкладке конденсатора, и расширение частотного диапазона измерений. Определен...

  Сущность изобретения: на пленки на основе поли-п-ксилилена в вакууме воздействуют излучением СО-лазера, затем возбуждают тлеющий разряд в среде продуктов распыления ; причем перед началом распыления в камеру вводят вспомогательный плазмообразующий газ, например аргон или тетрафторэтияен, до достижения давления 1,4...20 Па. После этого зажигают тлеющий разряд в пространстве между...