Недосекина Т.Н.

 1. Устройство для очистки изделий полупроводниковой микроэлектроники, содержащее воздушное сопло с установленным на нем рабочим органом, отличающееся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей и повышения качества очистки, рабочий орган выполнен в виде плоской пружины, консольно закрепленной на конце воздушного сопла, и гибкого стержня, закрепленного своим концом на свободн...