Устройство для очистки изделий полупроводниковой микроэлектроники
Патент 1254960
Авторы
Классы МПК
Устройство для очистки изделий полупроводниковой микроэлектроники
Реферат
1. Устройство для очистки изделий полупроводниковой микроэлектроники, содержащее воздушное сопло с установленным на нем рабочим органом, отличающееся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей и повышения качества очистки, рабочий орган выполнен в виде плоской пружины, консольно закрепленной на конце воздушного сопла, и гибкого стержня, закрепленного своим концом на свободном конце плоской пружины.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что гибкий стержень выполнен из вольфрама.