НОВИЦКИЙ ВЯЧЕСЛАВ МИХАЙЛОВИЧ

  Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано, например , при химической обработке полупроводниковых пластин. Цель изобретения - повышение качества полупроводниковых пластин достига.ется благодаря тому, что стенки эластичной герметичной камеры 3 прижимаются к кромке пластины 8. К элементу 6, расположенному на опорном выступе 2,...