Картмазов Г.Н.

 1. Способ нанесения покрытий в вакууме путем регулируемого испарения материала покрытия за счет его нагрева электронным пучком, ионизации паров испаряемого материала путем зажигания в них разряда при подключении одного из электродов источника разрядного напряжения к испаряемому материалу с регулированием степени ионизации током разряда, а энергии ионов - напряжением смещения на покрываемо...