Способ нанесения покрытий в вакууме

Способ нанесения покрытий в вакууме

Реферат

 

1. Способ нанесения покрытий в вакууме путем регулируемого испарения материала покрытия за счет его нагрева электронным пучком, ионизации паров испаряемого материала путем зажигания в них разряда при подключении одного из электродов источника разрядного напряжения к испаряемому материалу с регулированием степени ионизации током разряда, а энергии ионов - напряжением смещения на покрываемом изделии, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности при низком значении температуры изделия, ионизацию паров испаряемого материала осуществляют несамостоятельным дуговым разрядом при подключении к испаряемому материалу отрицательного электрода источника разрядного напряжения.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что процесс проводят при следующем соотношении режимных параметров где U_п - величина напряжения отрицательного смещения на изделии; P_доп - мощность, рассеиваемая покрываемым изделием при предельно допустимой температуре; P_к - мощность, выделяемая на покрываемом изделии за счет теплоты конденсации; I_i - ток ионов на изделие; E_i - собственная энергия ионов в плазме; e - заряд электрона.