ШАХБАЗОВ СЕРГЕЙ ЮРЬЕВИЧ

  Изобретение относится к микро- , зондовой технике. Цель - повьпление достоверности контроля. Она достигается тем, что в способе функционального контроля интегральных схем (ИС) с помощью специального устройства (У) из сигнала, несущего информацию о топологии и потенциалах образца, исключается сигнал, соответствующий топографическому контрасту схемы, в результате чего на видеоконтр...

  Изобретение относится к микрозондовой технике. Цель изобретения - повьппение точности и информативности контроля интегральных схем. Испытуемая интегральная схема 1 облучается острофокусированным импульсным пучком 3 электронов. Импульсы вторичноэмиссионного потока преобразуют в электрический сигнал с помощью преобразователя 4 и интегрируют интегратором 5о Результат интегр ирования...

  Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов. Целью изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов. Устройство содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником...