Устройство для стробирования электронного пучка

Устройство для стробирования электронного пучка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов. Целью изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов. Устройство содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектродного зазора. Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной коаксиальной линии определяются выбранным волновым сопротивлением линии. Выполнение внутреннего проводника в виде ленты , поперечное сечение которой вытянуто вдоль оптической оси прибора, позволяет за счет уменьшения емкости зазора поднять напряженность поля в зазоре и, следовательно , увеличить чувствительность системы при одинаковом напряжении и ширине зазора, а также при одинаковой длине, на которой электронный пучок взаимодействует с полем отклоняющих электродов. 1 ил. г ё ON VJ О О 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)ю Н 01 J 37/28

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

6йМ03В! дццс;,;;, БАБ,""-A,. . -;

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4365795/21 (22) 19.01.88 (46) 07.05.91. Бюл. М 17 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) В.Б.Вяхирев, А.Н.Осипов, А.В.Суворинов, С.В.Титов и С.Ю.Шахбаэов (53) 621.385(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 911650, кл. Н 01 J 37/26, 1982.

Задорф Кратц. Вставная система прерывания электронного пучка для РЭМ,—

Приборы для научных исследований, 1985, N. 4, с.76-81. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СТРОБИРОВАНИЯ

ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА (57) Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов, Целью.. Ж,, 1647698 А1 изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов. Устройство содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектродного зазора. Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной «оа«сиальной линии определяются выбранным волновым сопротивлением линии. Выполнение внутреннего проводника в виде ленты, поперечное сечение которой вытянуто вдоль оптической оси прибора, позволяет за счет уменьшения емкости зазора гюднять напряженность поля в зазоре и, следовательно, увеличить чувствительность системы при одинаковом напряжении и ширине зазора, а также при одинаковой длине, на которой электронный пучок взаимодействует с полем отклоняющих электродов. 1 ил., 1647698

Формула изобретения

Составитель Е,Барышевский

Редактор Т. Юрчикова Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор И.Муска

Заказ.1650 Тираж 328 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород. ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов.

Целью изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов.

На чертеже представлено устройство для стробирования электронного пучка в разрезе.

Устройство для стробирования электронного пучка содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектронного зазора, Предлагаемое устройство для стробирования электронного пучка может быть выполнено следующим образом: внешний полый проводник 2 изготовлен изтонкостенной медной трубки с двумя поперечными отверстиями, внутрь которого вставлен внутренний проводник 3 с разрывом, торцы которого, расположенные вдоль электронно-оптической оси прибора, являются поверхностями отклоняющих электродов.

Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной коаксиальной линии определяются выбранным волновым сопротивлением линии.

Пример конкретного выполнения устройства для стробирования электронного пучка. При волновом сопротивлении однородной коаксиальной линии передачи, равном 50 Ом, и ускоряющем напряжении до

15 кВ высота торца (Ь) внутреннего ленточного проводника 3 равна 10 мм, ширина торца 1 мм, внутренний диаметр(0) внешнего трубчатого проводника 2 должен быть равен 11,5 мм. Торцы внутреннего ленточного проводника 3, вставленного во внешний трубчатый проводник 2, располагаются так, чтобы их поперечное сечение было вытянуто вдоль электронно-оптической оси прибора, и образуют межэлектродный зазор.

Устройство для стробирования элект5 ронного пучка работает следующим образом.

Электронный пучок 4 проходит между торцами внутреннего проводника 3, при подаче на которые переменного напряжения

10 от блока управления создается электрическое поле между отклоняющими электродами, под действием которого электронный пучок 4, проходящий через межэлектродный г зазор, смещается и прерывается диафраг15 мой1.

Выполнение внутреннего проводника однородной коаксиальной линии в виде ленты, поперечное сечение которой вытянуто вдоль электронно-оптической оси прибора, 20 позволяет по сравнению с устройством прототипа за счет уменьшения емкости зазора при одинаковом напряжении между отклоняющими электродами. одинаковой ширине зазора и одинаковой длине, на которой

25 электронный пучок взаимодействует с отклоняющими электродами, повысить напряженность электрического поля в зазоре и, следовательно, увеличить чувствительность системы.

Устройство для стробирования электронного пучка, содержащее отсекающую

35 диафрагму и однородную коаксиальную лиwe, подключенную к блоку управления, с внутренним проводником, разделенным поперечным разрывом на отклоняющие электроды, отл ича ющеес я тем,что, сцелью

40 повышения чувствительности устройства при сохранении его габаритов, внутренний проводник с максимальным и минимальным поперечными размерами ориентирован максимальным размером вдоль оси элект45 ронного пучка.