БЕНЕВОЛЕНСКИЙ СЕРГЕЙ БОРИСОВИЧ

  Изобретение относится к электротехнической промьшшенности и может быть преимущественно использовано для сборки роторов в подшипниках качения электродвигателей. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей.. Блок управления (БУ) 5 включает напряжение питания, одновременно закрывает входы усилителя 7 и автоматического потенциометра (АП) 8 через ключ 6. По истеч...

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при плазменной обработке полупроводниковых и диэлектрических подложек (П). Цель изобретения - повышение выхода годных изделий путем снижения температуры П при обработке. Для этого формирование прогиба охлаждаемого подложкодержателя осуществляют после размещения и закрепления на нем П в процессе бомбардировки их пот...