PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Соломатина Л.Я.

Изобретатель Соломатина Л.Я. является автором следующих патентов:

Способ локального сухого травления слоев окисла кремния

Способ локального сухого травления слоев окисла кремния

 1. Способ локального сухого травления слоев окисла кремния, включающий обработку поверхности газообразным фтористым водородом, отличающийся тем, что, с целью повышения качества оставшейся пленки окисла и подложки в областях травливания, перед травлением участки пленки, подлежащие стравливанию, облучают ионами дозами 1013 < D < 1016 см-2, энергиями 1 кэВ < E < Емакс, где Емакс...

1304666