Способ локального сухого травления слоев окисла кремния

Способ локального сухого травления слоев окисла кремния

Реферат

 

1. Способ локального сухого травления слоев окисла кремния, включающий обработку поверхности газообразным фтористым водородом, отличающийся тем, что, с целью повышения качества оставшейся пленки окисла и подложки в областях травливания, перед травлением участки пленки, подлежащие стравливанию, облучают ионами дозами 10¹³ < D < 10¹⁶ см^-2, энергиями 1 кэВ < E < Е_макс, где Е_макс - энергия ионов, глубина проникновения которых равна толщине пленки, затем выдерживают в ненасыщенных парах воды в течение 0,1-120 мин.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени обработки, после ионного облучения проводят травление газовой смесью ненасыщенных паров воды и фтористого водорода.