ЭРМАНТРАУТ В.Б.
Изобретатель ЭРМАНТРАУТ В.Б. является автором следующих патентов:
Способ формирования контактных отверстий к областям @ -типа интегральных схем
Изобретение отноеитея к элект РОЙНОЙ технике, частности к планер ной технологии изготовления интегральных схем. Целью изобретения является повышение выхода годных интегральных схем по контактным отверстиям за счет исключения затекания фосфорно-силикатного стекла (ФСС) в контактные отверстия. Способ включает стандартные операции нанесения слоя ФСС и вскрытия в них контактных окон....
1313257