ВОЛОШИН ВИКТОР АНАТОЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет повысить точность преобразователя путем устранения термоупругих напряжений в области соединения кремниевой пластины с корпусом. На поверхности кремниевой крышки выполнены кольцевые канавки 4. Воздействие потока среды на пластину I приводит к деформации мембраны 7. В измерительной диагонали тензорезисторного мост...