Преобразователь давления

Преобразователь давления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет повысить точность преобразователя путем устранения термоупругих напряжений в области соединения кремниевой пластины с корпусом. На поверхности кремниевой крышки выполнены кольцевые канавки 4. Воздействие потока среды на пластину I приводит к деформации мембраны 7. В измерительной диагонали тензорезисторного моста появляется сигнал, характеризующий давление в среде. 3 ил. СО х-З lAd сд 00 00 t IP фиг. 1

СООЭ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСГ1УБЛИН

Ai (19) (И) (50 4 С 01

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, ;... g

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (2!) 4ooo988/24-lo 22) 03.01.86 (46) 07.06.87. Бюл. 1(21 (71) Таганрогский радиотехнический институт им.В.Д.Калмыкова (72) С.П.Малюков, В.А.Волошин, И.В.Гречишникова и Т.А.Малинская (53) 531.187 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 679835, кл. G 01 19/04, 1976.

Патент США Ф 4063209, кл.338/4, 1978. (54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет повысить точность преобразователя путем устранения термоупругих напряжений в области соединения кремниевой пластины с корпусом. На поверхности кремниевой крышки выполнены кольцевые канавки 4. Воздействие потока среды на пластину 1 приводит к деформации мембраны 7. В измерительной диагонали тензорезисторного моста появляется сигнал, характеризующий давление в среде. 3 ил.

13158

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения давления в гидро-и газодинамических системах.

Целью изобретения является повышение точности измерения преобразователя давления путем устранения термоупругих напряжений, возникающих в области соединения кремниевой пластины с корпусом. 10

На фиг;1 изображен предлагаемый преобразователь, разрез; на фиг.2 разрез А-А на фиг.1; на фиг.3 — мембрана.

Полупроводниковая пластина с полу- 15 проводниковой крышкой 2, которая в периферийной области соединена по окружности с металлическим корпусом

3. В области соединения с корпусом 3 в крышке 2 выполнен ряд кольцевых каналов 4, а в местах расположения выводов 5 резисторов R1 — R4 (фиг.3) имеются сквозные отверстия 6. На поверхности мембраны 7 диффузионные резисторы Rl - R4 образуют замкнутый тензорезисторный мост 8. В крьппке 2 над мембраной 7 выполнена лунка 9 с радиусом большим, чем мембрана 7., Глубина лунки равна высоте прогиба мембраны при номинальном давлении преобразователя. Это позволяет повысить перегрузочную способность преобразователя, поскольку наличие упора снижает вероятность разрушения мембраны при превышении номинального 35 давления, . !

Преобразователь давления работает следующим образом. 4-4

37 2

Для измерения давления потока газа или жидкости преобразователь ус( танавливается при помощи корпуса 3 в систему подлежащую ис едованию.

При воздействии потока ж дкости или газа (P) на пластину 1 происходит деформация мембраны 7, которая в результате тензоэффекта вызывает появление сигнала в измерительной диаго( нали тензорезисторного моста 8. По ( значению этого сигнала можно судить ( о давлении в системе, Деформация мембраны может быть вызвана, помимо измеряемого давления, напряжениями в спае корпус 3 — кремниевая пластина 1. При этом в измерительной диагонали моста 8 возникает сигнал ошибки, вызва ный термоупругими напряжениями. Следовательно, уменьшение этих напря кеуий приведет к уменьшению сигнала ошибки, что повысит точность изме ения преобразователя. (Формула изобретения (1

Преобразователь давленйя, содержащий корпус, кремниевую пластинку с мембраной, тензорезисторный мост, . расположенный на мембране и крьппку, размещенную между пластиной и корпусом, о т л и ч а ю щ и и $ я тем, что, с целью повьппения точности путем устранения термоупруг х напряже1 ний, в нем на поверхности крышки, обращенной к корпусу, вып лнены кольцевые канавки, а крьппка выполнена из кремния, 1315837

Составитель A.Ñâåð÷êîâ

Редактор О.Юрковецкая Техред А.Кравчук

Корректор С.Шекмар

Заказ 2352/44

Тираж.776

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4