ШВЕДОВА ОЛЬГА ИВАНОВНА

  Изобретение может быть использовано для исследования и контроля электрофизических параметров полупроводниковых и диэлектрических материалов и структур на их основе. Цель изобретения - снижение погрешности измерения путем сохранения постоянства контактного пятна. При соприкосновении толкателя 7 с измеряемым образцом 8 втулка 6 посредством мембраны 4 опускается. Ртуть 2 вдавливаетс...