Буланов В.И.

 Способ изготовления полупроводниковых чувствительных элементов датчиков, заключающийся в формировании тензорезисторов, тонкопленочных проводников и контактных площадок и утоньшении кристаллов путем травления, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления, уменьшения трудоемкости и увеличения выхода годных, после формирования схемы пластину со стороны тензосхемы закрывают...

 Способ изготовления узлов, преимущественно из полупроводника и стекла путем обработки соединяемых поверхностей, нанесение на одну из них алюминиевой пленки, сборки узла со стороны пленки алюминия, нагрев и подачу электрического напряжения, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей и повышения производительности за счет группового изготовления узлов, перед нанес...