ТАТАРЕНКО Н.И.

  Изобретение относится к микроэлектронике . Цель изобретения - повышение качества подложек. Подложки, например5 из сплава AM, 2 терморихтуют при температуре 573 К и механически обрабатывают методом торцового алмазного точения.. Затем проводят глубокое пористое анодирование в электролите на осноре ортофосфорной кислоты . Анодирование выполняют при плотности тока 15 нА/см и температ...