Савенок Е.Д.

  Изобретение относится к микроэлектронике, а более конкретно к технологии изготовления цифровых интегральных схем. Цель изобретения - повышение воспроизводимости параметров при увеличении быстродействия интегральных схем. В кремниевой плааине формируют известными техологическими приемами активные и пассивные элементы интефалькых схем Соед1« яют элементы токоведущими дфожками. Для...