ПОЛУШКИН ДМИТРИЙ СЕРГЕЕВИЧ

  Изобретение м. б. использовано в технике фото 1итографи11 при производстве фотошаблонов интегральных схем, иечатиых плат и др. изделий. Цель изобретения - иовышение качества обработки листовых диазопленок. В устр-ве держатель диазоиленок вынолнен в виде двух иараллельно расположенных на направляющей рейке 7 стержней 6, соединенных с системой нодачи реагента . В распылитель 5 и ст...