Устройство для обработки листовых диазопленок

Устройство для обработки листовых диазопленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение м. б. использовано в технике фото 1итографи11 при производстве фотошаблонов интегральных схем, иечатиых плат и др. изделий. Цель изобретения - иовышение качества обработки листовых диазопленок. В устр-ве держатель диазоиленок вынолнен в виде двух иараллельно расположенных на направляющей рейке 7 стержней 6, соединенных с системой нодачи реагента . В распылитель 5 и стержни 6 подают пары аммиака по гибким трубкам 9. Отверстия 8 на обрапленных друг к другу сторонах стержней 6 обеспечивают хорошую циркуляцию реагента между диазопленками. 3 ил. & (Л ufMf uaffOL аммиа/ а фиг.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1

„„SU„„1352444 (51) 4 б 03 D 7/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H ABTOPCHOlVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ю ос7 аммиагга.

1 б

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4006273)24-10 (22) 07.01.86 (46) 15.! !.87. Бюл. № 42 (72) Э. А. Александров, С. С. Васильев, Г. М. Белевич и Д. С. Полушкин (53) 771.428 (088.8) (56) Патент Австрии № 349301, кл. G 03 С 005/24, 1979.

Патент Швейцарии № 627863, кл. G 03 D 7)00, 1982. (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ

ЛИСТОВЫХ ДИАЗОПЛЕНОК (57) Изобретение м. о. использовано в те«нике фотолитографии при производстве фотошаблонов интегральны«с«ем, печатных плат и др. изделий. Цель изобретения повышение качества обработки листовы« диазопленок. В устр-ве держатель диазопленок выполнен в виде двух параллельно расположенных на направляющей рейке 7 стержней 6, соединенных с системой подачи реагента. В распылитель 5 и стержни 6 подают пары аммиака по гибким трубкам 9. Отверстия 8 на обрашенных друг к другу сторонах стержней 6 обеспечивают «оров» ю циркуляцию реагента между диазопленками. 3 ил. (352444

Форл!у.га изобретения

ЯыР,4 !

Составитель Ь. (»HII»0II

Р» пактОР Л. Ма ковс кап Т»хред И. Вер»с Корректор И. Эрд»йи

Заказ 5273, 45 Тираж 42! Г!одписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий ! !3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раугпская наб., д. 4/5

Производственно-полиграафическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к обработке светочувствите3bllblx материазов и может быть использовано в технике фотолитографии при производстве фотошаблонов интегральных схем, печатно!х плат и других изделий.

Целью изобретения является повышение

5 качества обработки.

На фиг. изооражено предлагаемое устройство, разрез; па фиг. 2 — вид А на фиг. (со снято"; на фиг. 3— установка диазопленок для обработки.

Устройство содержит корпус 1, крыв!ку

2, уплотнение 3, установленное между корпусом и крышкой, выполненное, например, из силиконовой резины. В камере устройства, образованной корпусом и крышкой, размсщеHhl нагреватели 4, связанные с системой тсрморегулирования (не показана), распылитель 5 и два полых стержня-держателя 6. С тержни 6 установлены параллельно один другому на на !равляющей рейке 7 с возу!ожностью изменсния расстояния меж,iy ними. В стержнях 6 на обращенных одна к другои сторонах выполнены отверстия 8.

PBcIibIëèTåëü 5 и стержни 6 гибкими трубками 9 соединены с системой подачи паров аммиака (не показана). 25

Устройство работает следующим образом.

Два листа диазопленки )О, обращенные один к другому эмульсионной стороной и соединенные по двум противолежащим краям, например, ультразвуковой сваркой, после экспонирования устанавливают на стержни-держатели 6 таким образом, что стержни 6 размещаются между листами диазоплснок. После установки листов диазопленки (О на стержни 6 камеру закрывают и через распылитель 5 и стержни 6 подают аммиак с одновременным нагревом рабочего объема до необходимой температуры.

Подача паров аммиака в рабочий обьем камеры через распылитель 5 позволяет исключить возду!нные пузыри в отдельг!ых зонах, а через отверстия 8 в стержнях 6— обеспечить хорошую ииркуляци!о реагента между диазопленками О, тем самым повысит качество обработки.

Устройство для обработки листовых диазопленок, содержащее герметичную камеру с крышкой, нагреватель, распылитель, связанный с системой подачи реагента, и держатель ли азопленок, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки, держатель выполнен в виде двух параллельно расположенных полых стержней, на обращенных друг к другу сторонах которых выполнены отверстия, при этом стержни связаны с системой подачи реагента.