КОМАН БОГДАН ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность .измерения толщины тонких электропроводящих пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении. Емкостный датчик для измерения толщины электропроводящей напыляемой пленки содержит плоское диэлектрическое основание 1, на обеих поверхностях которого размещены . пары гребенчатых электродов 2...

  Изобретение относится к измери- ,тельной технике и имеет целью расширение диапазона контролируемь:х толщин диэлектрической пленки в процессе ее напыле1шя. Используемый в процессе напыления емкостный датчик-свидетель содержит диэлектрическое основанне 15 вьтолненное в виде цилиндра, установленного с возможностью вращения вокруг его продо11ьной оси 2, и размещенг-Еые по всей его вн...