Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки

Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность .измерения толщины тонких электропроводящих пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении. Емкостный датчик для измерения толщины электропроводящей напыляемой пленки содержит плоское диэлектрическое основание 1, на обеих поверхностях которого размещены . пары гребенчатых электродов 2 и 3, 4 и 5, образующих соответственно измерительный и опорный, служащий для температурной компенсации, конденсаторы . Дополнительная диэлектрическая пластина 6, установленная на электродах 2 и 3 измерительного конденсатора , закрывает их от прямого осаждения электропроводящей пленки и их замыкания. Б процессе образования пленки на внещней поверхности диэлектрической пластины 6 происходит изменение емкости измерительного конденсатора . Функциональная зависимость между толщиной электропроводящей пленки и изменением емкости измерительного конденсатора определяется предварительной.градуировкой. 3 ил. SS ел с:

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51)4 С 0 В

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (.21) 4085720/25-28 (22) 14.07.86 (46) 15.01.88. Бюл. ¹ 2 (72) Ж.Г.Юхимюк, В.Г,Костишин и Б.П.Коман (53) 621.317.39:531 717 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР .¹ 195650, кл. G 01 В 7/08, 1965.

Авторское свидетельство СССР

¹- 398814, кл. G 01 В 7/08, 1971. (54) ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

ТОЛЩИНЫ НАПЫПЯЕМОЙ ПЛЕНКИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность .измерения толщины тонких электропроводящих пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении. Емкостный датчик для измерения толщины электропроводящей напыляемой пленки содержит плоское диэлектрическое основание 1, на обеих поверхностях которого размещены пары гребенчатых электродов 2 и 3, 4 и 5, образующих соответственно измерительный и опорный, служащий для температурной компенсации, конденсаторы. Дополнительная диэлектрическая пластина 6, установленная на электродах 2 и 3 измерительного конденсатора, закрывает их от прямого осаждения электропроводящей пленки и их замыкания. В процессе образования пленки на внешней поверхности диэлектрической пластины 6 происходит изменение емкости измерительного конденсатора. Функциональная зависимость между толщиной электропроводящей пленки и изменением емкости измерительного конденсатора определяется предварительной.градуировкой.

3 ил.

1366872

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в микроэлектронике для измерения толщины тонких электропроводящих пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении.

Цель изобретения — повышение точности измерения электропроводящей

1 пленки на начальной стадии ее образования за счет предотвращения прямого осаждения электропроводящей.пленки на электроды измерительного конденсатора и их замыкания.

На фиг. 1 изображен предлагаемый емкостный датчик со снятой дополнительной диэлектрической пластиной, вид сверху; на фиг ° 2 — разрез А-А на фиг. 1; на фиг, 3 — узел I на фиг. 2.

Емкостный.датчик содержит плоское диэлектрическое основание 1, на сторонах которого размещены пары гребенчатых электродов -2-. 5, образующие соответственно измерительный и опорный конденсаторы. Электроды 2 и 3 образующие измерительный конденса.тор, закрыты дополнительной диэлектрической пластиной 6, установленной на них. Образующаяся в процессе напыления пленка 7 осаждается на внешнюю поверхность пластины 6.

Емко с тный датчик раб отае т следующим образом.

Во время вакуумного напыления осаждающаяся пленка 7 образует электропроводящее покрытие на поверхности диэлектрической пластины 6, которое изменяет электроемкость измерительного конденсатора между его электродами 2 и 3. Электроемкость опорного конденсатора между его электродами

4 и 5 при этом остается неизменной.

Опорный конденсатор используется для

5 температурной компенсации результатов измерения емкости измерительного конденсатора в процессе напыления пленки. Каждому значению емкости измерительного конденсатора соответст1р вует определенная толщина напыляемой пленки. Зависимость между толщиной пленки и емкостью измерительного конденсатора определяется предварительной градуировкой.

1 Использование дополнительной диэлектрической пластины обеспечивает возможность измерения толщины электропроводкой пленки, так как послед-. няя не замыкает электродов измерительного конденсатора. Заменой дополнительной диэлектрической пластины датчик легко подготавливается к проведению новых измерений, а изменением толщины этой пластины регули25 руется чувствительность емкостного датчика.

Формула изобретения

gp Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки, содержащий плоское диэлектрическое основание и размещенные на обеих его плоских поверхностях пары гребенчатых электродов, образующие измерительный и опорный конденсаторы, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения электропроводящей пленки на начальной стадии ее образования, он снабжен дополнительной диэлектрической пластиной, установленной на электродах измерительного конденсатора.

1366872

Составитель Л.Гуськов

Редактор А,Ренин Техред М.Ходанич Корректор И.Муска

Заказ 6826/41 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4