КУПЧИК СЕРГЕЙ ФИЛИППОВИЧ

  Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для контроля неплоскостности и толщины полупроводниковых и диэлектрических пластин. Целью изобретения является повышение точности измерения при контроле неплоскостности и толщины плас9 8 тин. Указанная цель достигается тем, что щупы 8 базовых датчиков 3, на которых располагается контролируемая пласт...