PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Рудской И.В.

Изобретатель Рудской И.В. является автором следующих патентов:

Способ изготовления многослойных структур

Способ изготовления многослойных структур

 1. Способ изготовления многослойных структур, включающий создание в кремниевой подложке скрытого диэлектрика путем внедрения ионов кислорода с последующим отжигом, отличающийся тем, что, с целью повышения качества структур, в подложку дополнительно внедряют ионы азота при соотношении атомов внедренного кислорода и азота в пределах 0,5-2,5 и суммарной объемной концентрации внедренных атомо...

1389598