Способ изготовления многослойных структур
Патент 1389598
Авторы
- Вяткин А.Ф.
- Данилин А.Б.
- Ерохин Ю.Н.
- Жолудев Г.К.
- Иванов В.В.
- Калинин А.В.
- Копецкий Ч.В.
- Литовченко В.Г.
- Медвидь А.П.
- Мордкович В.Н.
- Попов В.Г.
- Романюк Б.Н.
- Рудской И.В.
- Темпер Э.М.
- Устинов Ю.А.
- Шаповалов В.П.
Классы МПК
Способ изготовления многослойных структур
Реферат
1. Способ изготовления многослойных структур, включающий создание в кремниевой подложке скрытого диэлектрика путем внедрения ионов кислорода с последующим отжигом, отличающийся тем, что, с целью повышения качества структур, в подложку дополнительно внедряют ионы азота при соотношении атомов внедренного кислорода и азота в пределах 0,5-2,5 и суммарной объемной концентрации внедренных атомов (0,8-3,0)1022 см-3.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что внедрение ионов азота проводят при энергии ионов на 80-100 кэВ меньшей, чем энергия ионов кислорода.