ИНОЗЕМЦЕВ С.А.

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к спо собам измерения ширины линии рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны, например на фотошаблонах для литографии. Цель изобретения - повышение точности измерения ширины непрозрачных линий за счет изменения йоляриэации излучения. При измерениях непрозрачных линий объект освещают линейно поляризова...

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повьппение достоверности контроля качества проработки линий субмикронной ширины. Цель изобретения состоит в повышении достоверности контроля качества проработки линий рисунка в непрозрачном маскирующем слое, нанесенном на прозрачную подложку. Способ включает освещение измеряемого объекта электромагнитным излучением...

  Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения ширины линий рисунка иа объектах, например в mi to- графии. Цель - повышение точности измерения - достигается путем умень шения погрешности измерения, вызванной неправильным выбором поляризации . Объект освещают пучком линейно поляризованного оптического излучения , собирают прошедшие объект излуче...