PatentDB.ru — поиск по патентным документам

СЕРГЕЕВ С.М.

Изобретатель СЕРГЕЕВ С.М. является автором следующих патентов:

Устройство для ионно-плазменной обработки подложек в вакууме

Устройство для ионно-плазменной обработки подложек в вакууме

  C0IO3 СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ г ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ: -:-:— Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (46) 30. 08. 92. Бюл. Y - 32 (21) 3995461/21 (22) 27. 12.85 (72) В.А. Пома эенко, В.М. Савостиков, Ю.А. Глушко, В.А.Пушных, В.П. Кричков и С.М.Сергеен (53) 621.793.7(088.8) (56) Патент США Н 3988955, кл. С 23 С...

1405361