ЮНОСЮКЕ ЮЧИДА

  Изобретение относится к электронной технике и служит для увеличения адгезии наносимого покрытия к подложке. Нанесение покрытий осуществляют термическим испарением с одновременной ионизацией паров компонент . Для образования пучков за счет сил Вандер-Ваальса, что способствует повьшению степени ионизации, отверстие d в тигле выбрано из выражения d(1-2)t, где t - толщина стенки тигл...