Алгазин Ю.Б.

 Эллипсометр, содержащий последовательно установленные и оптически связанные поляризатор, компенсатор и анализатор, а также устройства поворота компенсатора и анализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности измерений, он дополнительно содержит определитель измерительных зон, выполненный в виде поступательно установленных и имеющих общую ось вращения панели, диска к...