Эллипсометр

Эллипсометр

Реферат

Эллипсометр, содержащий последовательно установленные и оптически связанные поляризатор, компенсатор и анализатор, а также устройства поворота компенсатора и анализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности измерений, он дополнительно содержит определитель измерительных зон, выполненный в виде поступательно установленных и имеющих общую ось вращения панели, диска компенсатора и диска анализатора, причем панель выполнена с двумя окнами в первом и третьем 90°-ных секторах, имеющими форму четверти кольцевой прорези, с двумя окнами во втором и четвертом 90°-ных секторах, имеющими форму четверти круга, с окном лимба анализатора, имеющим форму четверти кольцевой прорези и расположенным симметрично границе первого и четвертого секторов, и с окном лимба компенсатора, выполненным аналогично окну лимба анализатора и расположенным симметрично границе второго и третьего секторов, диск компенсатора выполнен с двумя диаметрально противоположно расположенными окнами, имеющими форму четверти круга, диск анализатора выполнен с двумя расположенными по разные стороны от радиуса указателями, форма одного из которых совпадает с формой окон в панели, расположенных в первом и третьем секторах, а форма другого совпадает с формой окон в панели, расположенных во втором и четвертом секторах, при этом диски компенсатора и анализатора снабжены установленными с возможностью поворота градусными шкалами и кинематически связаны с возможностью синхронного поворота соответственно с устройствами поворота компенсатора и анализатора.