Шурова И.Г.

 Изобретение относится к микроэлектронике и позволяет расширить диапазон удельного сопротивления и снизить температурный коэффициент сопротивления резисторов. Для этого в материале для изготовления тонкопленочных резисторов, представляющем собой сплав, в качестве соединения кобальта с кремнием используют Со2Si в количестве 99,0 - 99,5 мас.% и бор в количестве 0,5 - 1,0 мас.%. 1 табл. Изобр...

 Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к очистке подложек микросхем в процессе монтажа. Цель изобретения - повышение качества очистки и снижение токсичности состава. Подложки микросхем с навесными элементами погружают в состав, содержащий, мас.%: гидроокись аммония 1,25 - 1,45, поверхностно-активные вещества формулы RC6H4O(CH2CH2O)nH (R = C9H19, а n = 10 или 12) 0,25 - 0,35...