Дворина Л.А.

 Изобретение относится к микроэлектронике и позволяет расширить диапазон удельного сопротивления и снизить температурный коэффициент сопротивления резисторов. Для этого в материале для изготовления тонкопленочных резисторов, представляющем собой сплав, в качестве соединения кобальта с кремнием используют Со2Si в количестве 99,0 - 99,5 мас.% и бор в количестве 0,5 - 1,0 мас.%. 1 табл. Изобр...