Айзенберг И.А.

 Способ получения кремнийорганических покрытий путем нетермической активации паров кремнийорганического мономера в смеси с инертным газом, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, в качестве кремнийорганического мономера используют гексаметилдисилоксан или гексаметилдисилазан, нетермическую активацию проводят ультрафиолетовым излучением с длиной волны 160 - 195 нм при ис...