Способ получения кремнийорганических покрытий

Способ получения кремнийорганических покрытий

Реферат

Способ получения кремнийорганических покрытий путем нетермической активации паров кремнийорганического мономера в смеси с инертным газом, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, в качестве кремнийорганического мономера используют гексаметилдисилоксан или гексаметилдисилазан, нетермическую активацию проводят ультрафиолетовым излучением с длиной волны 160 - 195 нм при использовании гексаметилдисилоксана или с длиной волны 160 - 230 нм при использовании гексаметилдисилазана при давлении парогазовой смеси 6 10^-2 - 50 Торр и температуре 50 - 500^oC.