БУРШТЕЙН ВАЛЕРИЙ МИХАЙЛОВИЧ

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем. Цель изобретения - уменьшение разброса параметров за счет снижения неоднородности температурного поля по пластине. В рабочую камеру введены два электрода от высоковольтного постоянного источника питания. Один из электродов представляет собой сетку из...