Цыбульский В.В.

 Способ планаризации кремниевых структур, включающий нанесение на их поверхность пленки борофосфоросиликатного стекла и последующую термообработку при 800-950°С, отличающийся тем, что, с целью улучшения планарности структур и снижения дефектности пленки борофосфоросиликатного стекла, термообработку проводят в парогазовой смеси водорода и алканола R-OH, где R - CH3 -(CnH2n), n = 0, 1,...

 Способ обработки диэлектрических пленок борофосфоросиликатного стекла, включающий обработку диэлектрических пленок в смеси, содержащей тетраэтоксисилан, сушку и термообработку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет увеличения их сплошности и гидрофобности, обработку диэлектрических пленок проводят в смеси, дополнительно содержащей оксид бора и одноатомный алкано...