Способ обработки диэлектрических пленок борофосфоросиликатного стекла

Способ обработки диэлектрических пленок борофосфоросиликатного стекла

Реферат

 

Способ обработки диэлектрических пленок борофосфоросиликатного стекла, включающий обработку диэлектрических пленок в смеси, содержащей тетраэтоксисилан, сушку и термообработку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет увеличения их сплошности и гидрофобности, обработку диэлектрических пленок проводят в смеси, дополнительно содержащей оксид бора и одноатомный алканол при следующем количественном соотношении ингредиентов, мас.%:

Тетраэтоксисилан 15-75 Оксид бора 0,1-5,0 Одноатомный алканол Остальное,

сушку проводят при температуре 75-90°С течение 10-25 мин, а термообработку - при температуре 95-135°С в течение 60-90 мин.