ШТЕННИКОВ ИГОРЬ ВАЛЕНТИНОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения толщины покрытия, наносимого на внутреннюю поверхность полой осесимметричной детали с цилиндрического источника осаждения, установленного на оси. Целью изобретения является повышение точности при контроле толщины покрытия за счет учета реальных условий формирования покрытия. Перед началом испар...