Способ определения толщины покрытия

Способ определения толщины покрытия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения толщины покрытия, наносимого на внутреннюю поверхность полой осесимметричной детали с цилиндрического источника осаждения, установленного на оси. Целью изобретения является повышение точности при контроле толщины покрытия за счет учета реальных условий формирования покрытия. Перед началом испарения вещества определяют плотность вещества источника осаждения, плотность вещества покрытия, начальный диаметр цилиндрического источника осаждения и диаметр отверстия полой осесимметричной детали, на которую наносят покрытие. После нанесения покрытия измеряют текущий диаметр источника осаждения. С учетом указанных параметров определяют толщину покрытия. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЩ4АЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„gg„„ 1 516733 (51) 4 G 01 В 5/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCKOlVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

IlQ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 43 17677/25-28 (22) 16.10.87 (46) 23.10.89. Бюп. 9 39 (71) Ижевский механический институт (72) В,И.Сидоренко, И.В.Штенников и О.С.Макрушина (53) 53 1.7 17 (088 .8) (56) Пленочная микроэлектроника.

Под ред. Л.Холлэнда, — М.: Мир, 1968, с.261-272. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ПО1СР ГГИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может бьггь использовано для определения толщины покрытия, наносимого на внутреннюю поверхность полой осесимметричной детали с

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения толщины покрьггия, наносимого на внутреннюю поверхность полой осесимметричной детали с цилиндрического источника осаждения, установленного на ее оси, например в процессе вакуумного осаждения покрытия .

Целью изобретения является повышение точности при контроле толщины покрытия полой осесимметричной детали за счет учета реальных условий формирования покрьггия.

На фиг.1 изображено устройство для получения покрытий в вакууме; на фиг.

2 — схема формирования покрьггия.

Устройство, реализующее способ, со" держит полую осесимметричную деталь цилиндрического исто ппгка осаждения, установленного на оси. Целью изобретения является повью«е п е точности при контроле толщины покрьггия за счет учета реальных условий формирования покрьггия. Перед началом испарения вещества определянгг плотность веа щества источника осажде«п я, плотность вещества покрьггия, начальный диаметр цилиндрического источника осаждения и диаметр отверстия полой осесимметрич ной детали, на когорую наносят нокрьггие. После нанесения покрьггия измеряют текущий диаметр источника осаждения. С учетом указанных параметров определяют толщину покрьггия. ф

2 ил.

1, источник 2 осаждения цилиндрической формы, установленньпЧ на оси полой осесимметричной детали 1, узел 3 крепления ее и источника 2 осаждения, вакуумную камеру 4 и источник 5 тока.

Способ осуществляется в следующей последовательности.

Чри прохождении тока от источника

5 тока разогревают источник 2 осаждения. В результате разогрева происхо4 дит испарение и перенос паров вещества pò источника 2 осаждения к внутренней поверхности полой осесимметричной детали 1 с последующей конденсацией паров и образование покрытия.

Перед началом испарения вещества определяют плотность у и „ вещества источника 2 осаждения, плотность „,„р вещества покрытия полой осесимметрич1516733

Фиг. 2

Составитель И.Ефимов

Техред Л. Сердюкова Корректор С,Черни

Редактор Н. Гунько

Заказ 6370/36 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 ной детали 1, начальный диаметр источника 2 осаждения на одном из его участков, расстояние от центра источника осаждения до покрываемой поверхности (диаметр D отверстия полой осесимметричной детали 1). После нанесения покрытия измеряют текущий диаметр d, источника 2 осаждения и определяют толщину покрытия по соотношению,1г,1 г

Ь=К- — ——

4D

Уисп где К=- ——

) оокр

Способ позволяет контролировать толщину покрытия на любых участках полой осесимметричной детали 1 независимо от равномерности расхода вещества с различных участков цилиндрического источника 2 осаждения.

Формула изобретения

Способ определения толщины покрытия, заключающийся в том, что измеряют количество израсходованного на покрытие вещества, а также расстояние от центра источника осаждения до покрываемой поверхности и плотность вещества покрытия, и с учетом их определяют толщину покрытия, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности при контроле толщины покрытия полой осесимметричной детали, источник осаждения выполняют цилиндрической формы и устанавливают на оси контролируемой детали, предварительно определяют плотность вещества источника осаждения и его начальный диаметр, а количество израсходованного вещества определят с их учетом по изменению текущего диаметра источника осаждения.