Тетерьвов В.И.

 Изобретение относится к технологическому оборудованию и может быть использовано, в частности, в автоматах для сборки, измерения, контроля и различной технологической обработки в производстве полупроводниковых приборов. Цель изобретения - повышение эксплуатационных возможностей путем увеличения диапазона шаговых перемещений, для чего двухкоординатный шаговый стол имеет дополнительный приво...

 Изобретение может быть использовано, в частности, в электронике для жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин (ППП). Цель - повышение качества обработки ППП достигается тем, что в линии поворотные носители выполнены в виде ротора с горизонтально расположенным центральным валом 9 с цапфами 10, лысками для фиксации от поворота и парой торцовых зубчатых дисков (ТЗД) с венцом...