Двухкоординатный стол

Двухкоординатный стол

Реферат

 

Изобретение относится к технологическому оборудованию и может быть использовано, в частности, в автоматах для сборки, измерения, контроля и различной технологической обработки в производстве полупроводниковых приборов. Цель изобретения - повышение эксплуатационных возможностей путем увеличения диапазона шаговых перемещений, для чего двухкоординатный шаговый стол имеет дополнительный привод в виде пневмо-, или гидроцилиндра с ограничителями его хода. Шток дополнительного привода совмещен со штоком основного привода продольной каретки, размещен в его ползуне и установлен с возможностью перемещения на величину, равную половине величины шага продольной каретки. Ограничители хода пневмо-(гидро)цилиндра выполнены в виде торцов поршня дополнительного привода или регулируемых упоров, установленных на штоке по обе стороны ползуна. 3 з.п.ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к технологическому оборудованию, в частности к устройствам для обеспечения линейных шаговых перемещений по двум координатам, и может быть использовано в технологическом оборудовании различного назначения, например в автоматах для сборки, измерения, контроля и различной технологической обработки в производстве полупроводниковых приборов. Цель изобретения - повышение эксплуатационных возможностей путем увеличения диапазона шаговых перемещений с помощью введения дополнительного привода по одной из координат. На фиг. 1 показано предлагаемое устройство в аксонометрии; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - кассета с шахматным расположением ячеек; на фиг. 4 - ограничитель хода в торец поршня (в обе стороны); на фиг. 5 - ограничитель хода в торец поршня и в регулируемый упор; на фиг. 6 - ограничитель хода в два регулируемых упора. Двухкоординатный стол содержит основание 1, продольную каретку 2 с направляющими 3, поперечную каретку 4 с направляющими 5, расположенными на продольной каретке 2, шаговые приводы в виде пневмо- или гидроцилиндров: привод 6 продольного перемещения на шаг t₁ и привод 7 поперечного перемещения на шаг t₂. Шаговые приводы 6 и 7 смонтированы с ползунами 8 и 9, при этом ползун 9 с приводом 7 - жестко, а ползун 8 с приводом 6 - свободно, с возможностью перемещения. В обоих ползунах 8 и 9 смонтированы одинаковые поводковые штыри 10 и 11 с возможностью поперечного перемещения с помощью пневмо- или гидроцилиндров 12 в ползуне 8 и аналогично ему в ползуне 9 (на чертеже не показан). На каретках 2 и 4 закреплены шаговые рейки 13 и 14. Привод 6 продольного перемещения содержит шток 15 и поршень 16, а введенный дополнительный привод 17 выполнен в виде пневмо- или гидроцилиндра, при этом поршень 18 его установлен на штоке 19 и одновременно встроен в ползун 19 и одновременно встроен в ползун 8 привода продольной каретки. При этом ползун 8 привода продольной каретки выполняет функцию цилиндра дополнительного привода 17. Ползун 8 установлен с возможностью дополнительного перемещения на величину, равную половине шага t_1/2, при помощи ограничителей хода, которые могут быть выполнены в виде торцов 20 и 21 поршня (см. фиг. 2 и 4) или регулируемого упора 22, установленного на штоке 15, и торца 20 поршня (см. фиг. 5) или двух регулируемых упоров 22 и 23 (см. фиг. 6), установленных соответственно на штоках 15 и 19 по обе стороны ползуна 8. Регулируемые упоры 22 и 23 представляют собой резьбовую втулку с быстросъемной шайбой 24. Шток 15 привода 6 продольной каретки выполнен в виде двухопорной скалки (см. фиг. 1), размещенной в опорах 25 и 26 (см. фиг. 2), а поводковый штырь 10 может быть установлен над поршнем 18 дополнительного привода или под ним (на чертежах не показан вариант нижнего расположения). Опора 26 смонтирована в кронштейне 27, в котором закреплен также регулируемый упор 28 для обеспечения перемещения привода 6 продольного перемещения на шаг t₁. Продольная каретка 2 содержит две щеки 29 и 30, скрепленные снизу брусом 31, через который проходят направляющие 3, а вверху - стержнями, функцию которых выполняют направляющие 5, которые являются стяжками, т.е. снабжены резьбовой частью 32. Ползун 9 с подводковым штырем 11 и приводом 7 установлены под кареткой 4. В каретках 2 и 4 установлены базовые пальцы 33 и 34 для фиксации реек 13 и 14, выполненных в виде стержней с кольцевыми проточками 35 и 36, шаг которых равен соответственно шагам приводов продольного 6 t₁ и поперечного 7 t₂ перемещений. Двухкоординатный стол работает в комплекте с автоматами различного назначения (сборочным, обрабатывающим, контрольно-измерительным), увязанными по циклу с его системой автоматического управления (на чертежах не показаны). При подготовке к работе на каретку 4 (см. фиг. 1) устанавливают и фиксируют многорядную кассету с изделиями, подлежащими обработке, размещенными в ячейках, например, в шахматном порядке. На каретки 2 и 4 устанавливают рейки 13 и 14 с соответствующими обрабатываемым кассетами значениями шагов t₁ и t₂. В исходном положении шток 15, ползун 8, штыри 10 и 11 находятся в одном из своих крайних положений, при этом последние - в выдвинутом положении, входя в зацепление с рейками 13 и 14 посредством проточек 36. В этом положении происходит обработка первого изделия, размещенного в первой ячейке кассеты, по окончании которой по сигналу от системы управления автомата (на чертежах не показана) начинается автоматический цикл работы двухкоординатного стола. Продольное перемещение каретки 2 на шаг t₂ осуществляется поводковым штырем 10, входящим в зацепление с восьмишаговой рейкой 13 при помощи шагового привода, например пневмо- или гидроцилиндра 6, перемещающего шток 15 из одного крайнего положения в другое (рабочий ход). При этом вместе с ним перемещается и ползун 8 со штырем 10 на шаг, после чего происходит обработка второго изделия первого ряда кассеты. По сигналу о ее окончании поршень 16 занимает крайнее правое положение, штырь 10 выходит из зацепления с рейкой 13, шток 15 совершает обратный ход при помощи цилиндра 6 (холостой ход). Затем снова срабатывает поршень 16 и штырь 10 входит в зацепление с второй проточкой 36 рейки 13, далее цикл повторяется, пока не закончится обработка всего ряда ячеек. По сигналу об окончании обработки последнего в ряду изделия ползун 8, являющийся цилиндром введенного дополнительного привода 17, перемещается в другое крайнее положение (по сравнению с тем, которое он занимал во время обработки первого ряда) подачей сжатого воздуха в подпоршневое или запоршневое пространство дополнительного поршня 18 (это зависит от того, какой первый ряд: длинный или короткий). При этом ползун взаимодействует с ограничителями хода и в зависимости от вариантов их исполнения упирается: в торец 20 или 21 поршня (см. фиг. 4), в торец поршня 20 или регулируемый упор 22 или 23 (см. фиг. 6). При этом посредством штыря в выдвинутом положении продольная каретка 2 смещается на величину, равную половине ее обычного шага t_1/2. Одновременно с этим (по сигналу об окончании обработки последнего в ряду изделия) штырь 11 выходит из зацепления с рейкой 14 и ползун 9 перемещается из одного крайнего положения в другое, с помощью привода 7 осуществляет холостой ход, по окончании которого штырь 11 снова входит в зацепление с рейкой 14, а ползун делает рабочий ход, передвигая поперечную каретку 4 на шаг. Таким образом, работа привода поперечного перемещения аналогична работе привода продольного перемещения и продолжается, пока не закончатся циклы перемещения по рядам и с ряда на ряд до полной обработки всех изделий кассеты. После обработки последнего изделия кассета снимается, устанавливается новая и непосредственно из этого положения начинается обратное движение новой кассеты (без холостого прогона ее в положение первой кассеты). При обработке кассет с прямым (нешахматным) расположением ячеек ползун 8 не смещается на половину шага, а занимает одно постоянное положение (соответствующим режимом работы, задаваемым системой управления).

Формула изобретения

1. ДВУХКООРДИНАТНЫЙ СТОЛ, содержащий основание, продольную каретку с направляющими, закрепленными на основании, поперечную каретку с направляющими, закрепленными на продольной каретке, шаговые приводы продольной и поперечной кареток, выполненные в виде пневмо- или гидроцилиндров с подвижными в осевом направлении ползунами с установленными в них с возможностью поперечного перемещения поводковыми штырями, и шаговые рейки продольной и поперечной подач, неподвижно закрепленные на каретках, отличающийся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, он снабжен дополнительным приводом в виде пневмо- или гидроцилиндра с ограничителями его хода, при этом шток дополнительного привода совмещен со штоком основного привода продольной каретки, размещен в его ползуне и установлен с возможностью перемещения на величину, равную половине величины шага продольной каретки, а ограничители хода выполнены в виде торцов поршня дополнительного привода или регулируемых упоров, установленных на штоке по обе стороны ползуна. 2. Стол по п.1, отличающийся тем, что, с целью повышения точности позиционирования и жесткости фиксирования кареток в рабочих позициях при одновременном увеличении компактности, шток привода продольной каретки выполнен двухопорным, ползун размещен между опорами штока, а поводковый штырь установлен над или под поршнем дополнительного привода. 3. Стол по п.1, отличающийся тем, что, с целью повышения компактности, корпус продольной каретки образован парой параллельных щек, стянутых со стороны основания поперечной П-образной планкой с размещенными в ней направляющими, а с противоположной стороны - двумя стержнями, причем ползун с поводковым штырем и приводом установлен под кареткой. 4. Стол по п.1, отличающийся тем, что шаговые рейки продольной и поперечной подач выполнены в виде сменных стержней с кольцевыми шаговыми проточками, а каретки снабжены базовыми пальцами, причем базовые пальцы установлены с возможностью размещения в проточках шаговых реек.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 8-2000

Извещение опубликовано: 20.03.2000