СЕРГЕЕВ ЛЕОНИД ВАДИМОВИЧ

  Изобретение относится к области технологии оптических деталей, а именно к способам ионно-лучевой обработки деталей, изготовленных из диэлектрических материалов, и может быть использовано в оптике и оптоэлектронике. С целью повышения скорости процесса травления поверхности изделий из диэлектрических материалов ведут путем воздействия сколлимированным пучком ионов, в который введен...