Мушакова Т.И.

 Изобретение относится к микроэлектронике, а точнее к технологии изготовления тонкопленочных микросхем. Цель изобретения - повышение временной стабильности резисторов - достигается тем, что на диэлектрическую подложку последовательно наносят слои резистивного и проводниковых материалов, формируют рисунок резистивных и проводниковых элементов, формируют защитный слой путем нанесения металли...