АЛЕКСЕНКО А.Г.
Изобретатель АЛЕКСЕНКО А.Г. является автором следующих патентов:
Способ изготовления полупроводниковых структур
Изобретение относится к микроэлектронике , в частности к технологии изготовления полупроводниковых структур с многоуровневой металлизацией. Способ позволяет повысить надежность полупроводниковых структур путем исключения проводящих дефектов в диэлектрическом покрытии, формируемом между двумя уровнями металлизации . Для достижения цепи после нанесения нижнего слоя алюминия и литог...
1542337