Мукасьян А.С.

 1. Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния, включающий взаимодействие тетраметилсилана и азотсодержащего компонента на нагретой подложке в среде газа-носителя, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости процесса, в качестве азотсодержащего компонента используют гидразин при молярном отношении тетраметилсилан/гидразин, равном 0,05-10, и исходной концентрации тетраметилс...

  Изобретение относится к технологии изготовления керамических изделий на основе тугоплавких нитридов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Целью изобретения является получение изделий с низкой пористостью, однородным химическим составом и повышенной прочностью. Способ состоит в том, что приготавливают экзотермическую порошкообразную смесь, содержащую по меньшей мер...