Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния

Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния

Реферат

 

1. Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния, включающий взаимодействие тетраметилсилана и азотсодержащего компонента на нагретой подложке в среде газа-носителя, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости процесса, в качестве азотсодержащего компонента используют гидразин при молярном отношении тетраметилсилан/гидразин, равном 0,05-10, и исходной концентрации тетраметилсилана в газе-носителе, равной 0,01-10,0 об.%.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве газа-носителя используют водород и/или азот.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что подложку нагревают до 1000-1400^oC.