Варламов А.Г.

  Изобретение относится к способам получения ультрадисперсных порошков аморфного нитрида кремния, позволяющим получать продукт в аморфном состоянии. Цель изобретения - увеличение его выхода. В трубчатый реактор при температуре 500 - 1700°С подают тетраметилсилан и гидразин при объемном соотношении 0,03 - 0,44. Концентрация тетраметилсилана равна 0,2 - 93 об.%. Через реактор продувают водор...

 1. Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния, включающий взаимодействие тетраметилсилана и азотсодержащего компонента на нагретой подложке в среде газа-носителя, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости процесса, в качестве азотсодержащего компонента используют гидразин при молярном отношении тетраметилсилан/гидразин, равном 0,05-10, и исходной концентрации тетраметилс...

 Использование: волоконная оптика, электроника и химическая промышленность. Сущность изобретения: в реактор подают смесь тетраметилсилана и гидразина при соотношении 0,2 в органо-водородной смеси (соотношение 0,1), что соответствует содержанию углерода 0,1. На подложке, нагретой до 1260oС, осаждается пленка аморфного однородного карбонитрида кремния. Продукт имеет состав, соответствующий ф...

 Способ получения слоистых тугоплавких керамических покрытий путем пиролиза газовых компонентов на нагретую подложку с периодическим изменением температуры подложки от Tmin до Tmax в диапазоне 500-2700oC при условии (Tmax-Tmin)50, отличающийся тем, что, с целью повышения прочности на изгиб покрытия из карбонитрида кремния, в качестве газовых компонентов используют смесь тетраметилсилана и...