Способ получения слоистых тугоплавких керамических покрытий

Способ получения слоистых тугоплавких керамических покрытий

Реферат

Способ получения слоистых тугоплавких керамических покрытий путем пиролиза газовых компонентов на нагретую подложку с периодическим изменением температуры подложки от T_min до T_max в диапазоне 500-2700^oC при условии (T_max-T_min)50, отличающийся тем, что, с целью повышения прочности на изгиб покрытия из карбонитрида кремния, в качестве газовых компонентов используют смесь тетраметилсилана и гидразина в атмосфере газа-носителя азота, скорость изменения температуры подложки составляет 10²-10³ град/с, а при T_min и T_max осуществляют изотермические выдержки в течение 0,1-3600 с.