Лапенкова С.В.

 Способ получения слоистых тугоплавких керамических покрытий путем пиролиза газовых компонентов на нагретую подложку с периодическим изменением температуры подложки от Tmin до Tmax в диапазоне 500-2700oC при условии (Tmax-Tmin)50, отличающийся тем, что, с целью повышения прочности на изгиб покрытия из карбонитрида кремния, в качестве газовых компонентов используют смесь тетраметилсилана и...